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      首頁 > 產品中心 > 輪廓/膜厚測量 > 光學輪廓儀 > D500 /D600探針式輪廓儀(臺階儀)

      探針式輪廓儀(臺階儀)

      簡要描述:探針式輪廓儀(臺階儀)源自AFM的光學杠桿技術,精確測量臺階高度及表面輪廓。

      • 產品型號:D500 /D600

      詳細介紹

      品牌其他品牌價格區間20萬-35萬
      產品種類接觸式輪廓儀/粗糙度儀產地類別進口
      應用領域綜合

      探針式輪廓儀(臺階儀)Alpha-Step D500 /D600采用新型光學反射探測系統測量高度,同時應用電磁力控制探針壓力,能有效實現超微力和低慣量。探針的接觸式測量技術的優點是直接測量,與材料特性無關。多種力度調節和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變,以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。

       

      探針式輪廓儀(臺階儀)應用范圍:

      1.2D/3D 表面形貌掃描

      2.納米至1200μm臺階高度測量

      3.粗糙度和波紋度測量

      4.樣品翹曲和曲率半徑測量

      5.2D薄膜應力測量

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      探針式臺階儀\探針式輪廓儀技術特點:

      1.優秀的重復性和再現性

      2.接觸式測量,適用于多種材料

      3.測量軟材料的微力控制

      4.梯形失真校正可消除側視視圖造成的失真

      5.弧形校正補償探針的弧形運動

      image.png

      型號

      D500

      D600

      臺階高度

      5nm~1200μm

      分辨率

      0.38Å

      重復性

      5Å(1μm臺階)

      載力范圍

      0.03mg~15mg

      視頻

      5MP高分辨彩色相機

      樣品臺

      140mm手動XY軸,Z軸自動

      200m三軸自動

      單次掃描

      30mm

      55mm

      圖像拼接

      80mm

      200mm

      梯形失真校正

      消除側視視圖造成的失真

      弧形校正

      消除探針的弧形運動引起的誤差

      掃描模式

      2D

      2D/3D

       

       

       

       

       

       

       

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