探針式輪廓儀（臺階儀）

探針式輪廓儀（臺階儀）KLA Tencor P7 /P17是UltraLite 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺結合，實現了好的測量穩定性。通過使用點擊式樣品臺控制、頂視和側視光學元件以及具有光學變焦功能的高分辨率相機，可快速輕松地設置程式。支持2D或3D測量，可使用多種濾波、調平和分析算法來測量表面形貌。通過圖形識別、序列和特征檢測實現全自動測量。

探針式輪廓儀（臺階儀）技術特點

高精度2D/3D 表面形貌掃描

超大范圍的單次掃描量程，無需圖像拼接

納米至1000微米臺階高度測量

粗糙度和波紋度測量

樣品翹曲和曲率半徑測量

2D/3D薄膜應力測量

表面缺陷檢測

探針掃描

掃描載臺具有單程150 mm的精確掃描范圍以及大1 mm的掃描高度范圍，從而保證高質量的2D和3D掃描數據。

3D成像

通過3D掃描可以得到表面的三維成像，呈現出彩色三維圖像或自上而下的等高線圖像。可以從中提取截面/線中的三維或二維數據。

應力分析

能夠測量在生產包含多個工藝層的半導體器件期間所產生的應力。使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲，然后通過應用Stoney方程來計算應力。2D應力通過在直徑達150mm的樣品上通過單次掃描測量，無需圖像拼接。3D應力的測量采用多個2D掃描，并結合θ平臺在掃描之間的旋轉對整個樣品表面進行測量。

Apex軟件

Apex分析軟件通過提供調平、濾鏡、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析技術的擴展套件，增強了P-7的標準數據分析能力。 Apex支持ISO粗糙度計算方法以及如ASME之類的本地標準。 Apex還可用作報告編寫平臺，具有添加文本、注釋和是/否合格的準則。 Apex提供八種語言的版本。